| 申请号 | 申请日 | 公开号 | 公开日 | 专利名称 | 发明人 | 权利人 | 申请人 | 所属区县 | 专利类型 | 许可类型 | IPC分类 |
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| CN202211081136.0 | 2022-09-06 | CN115148644B | 2022-11-22 | 一种集成光电子器件制造用蚀刻装置 | 绳仁龙 | 山东圆坤电子科技有限公司 | 山东圆坤电子科技有限公司 | [薛城] | 发明授权 | None | H01L21/67 |
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